НА испарении оружия стеклянного фильма предохранения от объектива УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО электронном

Лакировочная машина вакуума

оптический регулятор низложения фильма 1.Аккурате: кристаллический монитор толщины/оптически монитор.

2.Сентер-дривинг или планетарный купол субстрата дискретные.

3.Униформед и источник Халл-иона распределения луча иона обширного района.

оружие 4.Э-беам, стабилизированное пятно выходной мощности, небольших и равномерных Э-луча.

единообразие 5.Велл толщины фильма, хорошей повторимости низложения.

Машина состоит из камеры вакуума, несущей части работы, насосной системы вакуума, косой силы

поставка, система покрытия, система газа, система отопления, система деятельности, система управления, аварийная система и

электронная пушка, источник испарения.

традиционное вертикальное 1.Тхэ или эффективное горизонтальное, оборудованный с большим оружием тигля, поверхность фильма ровно

и единообразие;

2.Экиппед с высокомощным источником иона, улучшают качество покрытия и эффективность;

механизм управления толщины фильма кристалла кварца 3.Экиппед, может осуществить фильм формируя тариф и автоматический

управление производственным процессом;

дизайн 4.Тхэ структуры может соотвествовать технологии вакуума, системы вакуума принимает свободно-масло

система для обеспечения всей работы системы под никаким условием масла, обеспечивает фильм чистый;