يتكون الجهاز من غرفة فراغ ، نظام ضخ الفراغ ، إمدادات الطاقة التحيز ، نظام الطلاء ،

نظام الدوران قطعة العمل ، ونظام التبريد ونظام التحكم الكهربائي.

(1). امدادات الطاقة: خمس أسلاك ثلاث مراحل ، 380V ، 5 ٪ ، 50HZ ، مع مقاومة الأرض <5Ω.

(2). الهواء المضغوط: 0.5 ~ 0.7Mpa.

(3). مياه التبريد يمكن استخدام مياه الصنبور المدينة ، الماء منزوع الأيونات هو الأفضل. ينبغي أن درجة حرارة مياه التبريد

أقل من 25 درجة مئوية. يجب أن يكون ضغط المياه 0.2Mpa إلى 0.4Mpa. وينبغي أن يكون المورد المائي

القدرة على إضافة ماء جديد بمعدل أكثر من مائة لتر في الدقيقة.

(4). الحالة البيئية: يجب أن تكون الأرضية والسقف والجدران نظيفة. يجب أن يكون الهواء الداخلي نظيفًا وجافًا

لا الغبار. لا يوجد غاز قابل للاشتعال والانفجار والتآكل في الداخل.

(5). طلاء الهواء: Ar2 ، C2H2 ، N2 ، O2 ، عالية النقاء (≥99.99 ٪).