الكترون شعاع Evaporation PVD طلاء آلة مع نظام ضخ الفراغ

ATOP إلكترون شعاع فراغ التبخر خوذة درع PVD طلاء آلة

تبخير شعاع الالكترون هو أن يتم وضع الغشاء في بوتقة النحاس المبردة بالماء ، تسخينها
استخدام مباشر من شعاع الالكترون ، وتكثف الذرات أو جزيئات المواد الغشاء المبخر إلى أ
العفن عن طريق حدوثها على سطح الركيزة بعد الهروب من التبخر السطحي. الإلكترون
تبخر شعاع لديه الكفاءة الحرارية العالية ، وكثافة الشعاع ، وسرعة التبخر ، عالية النقاوة من الفيلم المحرز
من التبخر التدفئة المقاومة.

يتم التحكم في الماكينة من خلال شاشة تعمل باللمس و PLC ويمكن التحكم فيها يدويًا ، نصف تلقائي

السيطرة عليها أو السيارات التي تسيطر عليها. يتم التحكم في ضخ الفراغ والطلاء والغاز من خلال التحكم الرئيسي

صندوق. سوف الجهاز التنبيه عن طريق الصوت والضوء وامض عند مياه التبريد وإمدادات الطاقة الكهربائية

يتم قطعه أو أن ماء التبريد لا يكفي لتبريد النظام. جميع المضخات والصمامات لها

وظيفة مقفلة لتفادي التشغيل الخاطئ لسلامة الماكينة.

يتكون الجهاز من غرفة التفريغ ، حامل قطعة العمل ، نظام ضخ الفراغ ، قوة التحيز

العرض، نظام الطلاء، نظام الغاز، نظام التدفئة، نظام العمل، نظام التحكم، نظام الإنذار و

بندقية الإلكترون ، مصدر التبخر.

1.The أفقي التقليدية أو كفاءة الأفقي ، ومجهزة ببندقية بوتقة كبيرة ، سطح الفيلم على نحو سلس

والتوحيد

2. مجهزة بمصدر أيون عالية الطاقة ، تحسين جودة الطلاء والكفاءة ؛

3. مجهزة جهاز مراقبة سمك الفيلم الكريستال الكوارتز ، يمكن تحقيق معدل تشكيل الفيلم وتلقائي

تحكم العملية؛

4. تصميم هيكل يمكن تلبية متطلبات التكنولوجيا فراغ ، نظام فراغ اعتماد النفط مجانا

نظام لضمان عمل النظام بأكمله تحت أي حالة النفط ، وضمان فيلم نظيفة ؛

5. فراغ حماية التعشيق لنظام التشغيل ، فراغ مضخة بالماء ، إنذار انقطاع التيار الكهربائي

وظيفة؛

6. لمس الشاشة والتحكم PLC ، وتحقيق إعدادات parametric ، ومراقبة في الوقت الحقيقي وخطأ ذكي

التشخيص.